半導體製程尾氣處理的智慧升級方案

Scrubber cleaning × IMI Norgren VM10 智能氣動控制

將卓越的機械耐用性與毫秒級的精準控制完美結合，為您的Scrubber系統提供更長的使用壽命與更智能的運作效率。

在嚴苛的半導體與工業氣體處理製程中，設備的可靠性是產能的關鍵

結合Scrubber洗滌器清潔模組的強悍清潔能力，並由 IMI Norgren VM10 系列閥島擔任控制核心

透過高流量、高密度的氣動控制，確保清潔機構在處理有毒氣體沉積物時，能維持強勁且穩定的運作效能

◼️無縫兼容：尺寸與功能與 Edwards 完全一致，無需修改機台即可直接替換

◼️優化的使用壽命：提供優異的服務壽命與性能表現，減少停機維護頻率

◼️關鍵構造：配備專用毒氣入口 (A) 與強力氣壓缸 (B)，專為垂直行程的刮除清潔作業設計

◼️多缸配置：針對每台機台需驅動 4 至 6 支氣壓缸的高負載需求而打造

為了完美駕馭 LPTW 清潔模組的多氣缸運作，我們選用 VM10 系列作為氣動控制中樞。

◼️小體積釋放強勁流量

◼️高度整合的連接性

◼️工業級防護

詳見可參考型錄：VM10 - 閥島

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